等離子清洗機

一、設(she)備(bei)介紹：

PT1000-PE等離子清洗機是(shi)一款(kuan)專(zhuan)門針對(dui)科研院所(suo)研制的小批量樣品表面處理設備，利用真(zhen)空環(huan)境產生等離子體(ti)去處理樣品的表面(mian)，達(da)到常規(gui)清洗(xi)方法無(wu)法達(da)到的效果。

二、設(she)備參數：

型號：PT1000-PE

腔體材質：鋁合金

供電電源：AC220V

射頻電源功率：0-150W 可調

射頻頻率：40KHz

真空度：≤100Pa

氣體路數：雙(shuang)路(lu)

氣體流量：0.1—1L/min(可調)

控制：觸(chu)屏/手(shou)動

清洗時間：0—300 秒連續可調

內腔尺寸：226mm*126mm*255mm（寬*高*深）

外形尺寸：471mm*380mm*478mm（寬*深*高(gao)）

重量：≈30KG

真空泵：愛特，ARV-4

等離子清洗機

三、設備的優(you)點：

1、滿足8寸以下(xia)基片使(shi)用，適(shi)用性廣(guang)。

2、無(wu)環境(jing)污染、無(wu)化學品消(xiao)耗(hao)、機臺本(ben)身(shen)不產生污染物。

3、高(gao)效清洗，快速達成(cheng)需要的表(biao)面親水性。

4、應用廣泛，且對處(chu)理產品無損傷，不改(gai)變材料(liao)特性。