設備的優點：

1、采用射頻電源、自動匹配器，一鍵式操控。

2、低溫等(deng)離子體，能量低、密(mi)度高，適(shi)合(he)處理特殊材料。

3、無環境(jing)污(wu)染、無化學品消耗。

4、可(ke)處理形(xing)狀(zhuang)復雜的材料，材料表面(mian)處理的均勻性好。

5、適用(yong)性廣，各種(zhong)材料(liao)、形狀都可(ke)以處(chu)理。

腔體(ti)材質  鋁合(he)金(jin)

供電電源  AC220V、1000W

濺射電壓：MAX 2500V

濺(jian)射電流：MAX 30mA

靶材尺(chi)寸：直徑57mm，厚度0.1~0.5mm

電源功(gong)率  0-300W可(ke)調

射頻頻率  13.56MHz

真空度  ≤100Pa

氣體(ti)路數  2路

氣(qi)體(ti)流(liu)量  MFC氣(qi)體(ti)質量流(liu)量計   500SCCM（可(ke)調）

控制  觸(chu)屏

清(qing)洗時間  1-6000s連(lian)續可調(diao)

處理尺寸：≤4寸

內腔尺寸  Φ147mm*145mm（直徑*深）

外形尺寸  500mm*525mm*365mm（寬*深*高）

重量  ≈38KG

真空泵(beng)  愛(ai)特(te)VRD-4